近接場光エッチングによる樹脂基板の平坦化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-B11-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_743

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

近接場光エッチングによる樹脂基板の平坦化

*森本隆志, 平田和也, 多幡能徳, 野村航, 川添忠, 八井崇, 大津元一

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キーワード: 17p-B11-13, 光, 近接場光学, PMMA, 近接場光, 平坦化

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