InPとAl<sub>2</sub>O<sub>3</sub>パッシベーションによるInGaAsP細線導波路の損失改善

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-PA3-27

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1097

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

InPとAl₂O₃パッシベーションによるInGaAsP細線導波路の損失改善

*一宮佑希, 横山正史, 市川磨, 秦雅彦, 竹中充, 高木信一

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キーワード: 12a-PA3-27, 光エレクトロニクス, 光制御, III-V CMOSフォトニクス, 散乱損失, 導波路

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