ガスクラスターイオンビームによるシリコン導波路のトリミング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12p-C5-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1114

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

ガスクラスターイオンビームによるシリコン導波路のトリミング

*Jingnan Cai, 住江健介, 豊田紀章, 石川靖彦, 和田一実

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キーワード: 12p-C5-16, 光エレクトロニクス, 光制御, ガスクラスターイオンビーム, トリミング, 導波路

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