SiON膜を用いたダイヤモンドMOSダイオードの電気的特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-PB2-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1216

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

SiON膜を用いたダイヤモンドMOSダイオードの電気的特性

*辻直貴, 井上晃宏, 徳田規夫, 山崎聡, 猪熊孝夫

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キーワード: 13a-PB2-7, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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