Pt/Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/Pt, Pt３端子素子構造の試作とその動作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-C13-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1361

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

Pt/Ta₂O₅/Pt, Pt３端子素子構造の試作とその動作

*王ちぃ, 伊藤弥生美, 鶴岡徹, 山口周, 渡邉聡, 平本俊郎, 長谷川剛, 青野正和

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キーワード: 14a-C13-7, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ３端子素子, 金属酸化物

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