プラスチック基板上ITO薄膜の機械的特性に及ぼすアニール処理の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11a-PA2-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1375

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

プラスチック基板上ITO薄膜の機械的特性に及ぼすアニール処理の効果

*待永広宣, 上田恵梨, 水池敦子, 武田雄希, 下北啓輔, 宮崎司

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キーワード: 11a-PA2-3, 薄膜・表面, 薄膜新材料, ITO, アニール, クラック

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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