窒化ガリウム（GaN）向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-E2-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1642

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

窒化ガリウム（GaN）向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計測

*堤隆嘉, 竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 太田貴之, 伊藤昌文, 関根誠, 堀勝

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キーワード: 11p-E2-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, 基板温度

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