微粒子プラズマ中におけるAr準安定粒子密度の空間分布計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-E3-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1734

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

微粒子プラズマ中におけるAr準安定粒子密度の空間分布計測

*内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 森田康彦, Hyunwoong Seo, 板垣奈穂, 古閑一憲, Nader Sadeghi, 白谷正治

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キーワード: 11p-E3-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマナノテクノロジー, Ar準安定粒子, レーザー吸収分光計測, 微粒子プラズマ

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