MOVPE法を用いたGaN両極性同時成長プロセスの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12p-H9-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3261

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

MOVPE法を用いたGaN両極性同時成長プロセスの開発

*藤田陽平, 高野泰, 井上翼, 角谷正友, 福家俊郎, 中野貴之

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キーワード: 12p-H9-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, GaN, MOVPE, 両極性

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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