原子層制御分子線エピタキシーによる金属上への単結晶Ge薄膜の成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-J-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3380

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

原子層制御分子線エピタキシーによる金属上への単結晶Ge薄膜の成長

*山田晋也, 谷川昂平, 宮尾正信, 浜屋宏平

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キーワード: 13p-J-8, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, ゲルマニウム, 分子線エピタキシー

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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