Ge(001)微細パターニング基板上への局所Ge<sub>1−<i>x</i></sub>Sn<sub><i>x</i></sub>ヘテロエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-J-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3384

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

Ge(001)微細パターニング基板上への局所Ge_1−xSn_xヘテロエピタキシャル成長

*池進一, 志村洋介, 守山佳彦, 手塚勉, 中塚理, 財満鎭明

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キーワード: 13p-J-12, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, Ge, GeSn, ヘテロエピタキシャル成長

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