4H-SiC表面におけるペプチド自己組織化膜を用いたナノ微細加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-PB2-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3386

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

4H-SiC表面におけるペプチド自己組織化膜を用いたナノ微細加工

*川口優作, 永利一幸, 江龍修

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キーワード: 11p-PB2-1, 結晶工学, IV族系化合物, ion, Nanostructure, SiC

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