高比誘電率膜を形成したCNT-FET pHセンサの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-C2-40

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3597

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

高比誘電率膜を形成したCNT-FET pHセンサの作製

*豊島侑史, アグススバギョ, 中村基訓, 末岡和久

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キーワード: 11p-C2-40, ナノカーボン, CNT, センサ

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