MEMSデバイスなどからの有用金属リサイクルの可能性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-F7-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3840

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

MEMSデバイスなどからの有用金属リサイクルの可能性

*中嶋隆広, 佐久間寛之, 竹鶴憲昭, 下川貴央, 戴大禹, 本間哲哉

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キーワード: 13p-F7-6, 合同セッション, 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, MEMS, リサイクル, 有用金属

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