反射分光による薄半導体･強誘電体ウェハの厚さ計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-PA1-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_646

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

反射分光による薄半導体･強誘電体ウェハの厚さ計測

小野竜典, 鈴木晃, 鈴木清孝, *小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波

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キーワード: 13a-PA1-9, 光, 計測光学, ウェハ厚さ計, 機上計測, 裏面研削

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