微細加工したMPB組成PZT薄膜の圧電特性に高電圧印加が与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-D3-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1141

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

微細加工したMPB組成PZT薄膜の圧電特性に高電圧印加が与える影響

*小林健, 牧本なつみ, 前田龍太郎, 及川貴弘, 和田亜由美, 舟窪浩

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キーワード: 28p-D3-8, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, piezoelectric MEMS

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