単結晶ダイヤモンド機械共振特性の研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-PB3-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1208

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

単結晶ダイヤモンド機械共振特性の研究

*廖梅勇, 戸田雅也, Liwen Sang, 井村将隆, 池田直樹, 小出康夫

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キーワード: 28p-PB3-3, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, diamond, MEMS

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© 2013 公益社団法人応用物理学会

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