四列屈折率分布型レンズアレイの使用によるパターン線幅異方性の解消

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-B2-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1495

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

四列屈折率分布型レンズアレイの使用によるパターン線幅異方性の解消

*堀内敏行, 鈴木岳, 小林宏史

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キーワード: 28p-B2-4, ビーム応用, リソグラフィ, 異方性, 屈折率分布型レンズアレイ, 走査投影露光

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