EUV レジストの高感度化について

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-B2-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1500

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

EUV レジストの高感度化について

*渡邊健夫, 江村和也, 塩野大寿, 春山雄一, 大森克美, 佐藤和史, 原田哲男, 木下博雄

著者情報

キーワード: 28p-B2-9, ビーム応用, リソグラフィ, EUVリソグラフィ, EUVレジスト, SR吸収分光

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2013 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top