UNCD/a-C:H膜の成膜中心距離による電子放出特性の変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28a-B1-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1559

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

UNCD/a-C:H膜の成膜中心距離による電子放出特性の変化

*前蔵貴行, 比嘉勝也

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キーワード: 28a-B1-7, ビーム応用, 微小電子源, UNCD, ダイヤモンド, 電子放出

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