シリコンプレーナプロセスによるゲート付きナノイオンチャネルデバイスのイオン電流評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28a-G17-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_2259

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

シリコンプレーナプロセスによるゲート付きナノイオンチャネルデバイスのイオン電流評価

*西本淳平, 高橋一浩, 上村義永, 渥美和矢, 服部敏明, 二川雅登, 奥村弘一, 石田誠, 澤田和明

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キーワード: 28a-G17-10, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 生物・医用工学・バイオチップ, nanochannel, 半導体

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