中性子転換注入GaN中の<sup>14</sup>Cによる<sup>72</sup>Geドナーの補償

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-PA1-26

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3186

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

中性子転換注入GaN中の¹⁴Cによる⁷²Geドナーの補償

*中村司, 伊田孝寛, 尾賀孝宏, 栗山一男, 串田一雅, 徐虬, 福谷哲, 長谷川雅考

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キーワード: 28p-PA1-26, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 窒化ガリウム, 中性子転換注入

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