横方向p型活性化における雰囲気ガス依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 29p-G21-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3218

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

横方向p型活性化における雰囲気ガス依存性

*桑野侑香, 加賀充, 森田隆敏, 山下浩司, 南川大智, 竹内哲也, 岩谷素顕, 上山智, 赤﨑勇

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キーワード: 29p-G21-13, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, p型GaN, トンネル接合, 活性化

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