4H-SiC(0001)Si面上ホモエピタキシャル成長のオフ角依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28a-G22-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3275

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

4H-SiC(0001)Si面上ホモエピタキシャル成長のオフ角依存性

*田村謙太郎, 工藤千秋, 升本恵子, 児島一聡

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キーワード: 28a-G22-8, 結晶工学, IV族系化合物, ステップバンチング, 化学気相成長, 低オフ角

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