表面活性化ボンディングによるn-Si/n-4H-SiCヘテロ接合の作製及び評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-G22-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3284

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

表面活性化ボンディングによるn-Si/n-4H-SiCヘテロ接合の作製及び評価

*梁剣波, 宮崎達也, 西田将太, 森本雅史, 重川直輝

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キーワード: 28p-G22-4, 結晶工学, IV族系化合物, 表面活性化ボンディング

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