3次元LSI配線のための層数確定多層グラフェンの電気抵抗測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28a-G10-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3620

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

3次元LSI配線のための層数確定多層グラフェンの電気抵抗測定

*伊藤和幸, 片桐雅之, 酒井忠司, 粟野祐二

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キーワード: 28a-G10-10, ナノカーボン, デバイス応用, グラフェン, 抵抗率, 配線

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