PEN基板上ZnO系透明導電膜の特性 -ガラス基板との比較-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 29a-G19-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3693

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

PEN基板上ZnO系透明導電膜の特性 -ガラス基板との比較-

*赤沢方省

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キーワード: 29a-G19-3, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, PEN基板, ZnO, 透明導電膜

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