SF<sub>6</sub>プラズマによるNb-TiO<sub>2</sub>結晶基板のドライエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-A2-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_1362

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

SF₆プラズマによるNb-TiO₂結晶基板のドライエッチング

*松谷晃宏, 西岡國生, 庄司大, 佐藤美那, 小林大斗, 磯部敏宏, 中島章, 立間徹, 松下祥子

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キーワード: 16p-A2-8, 応用物理学一般, 新技術, フォトニック結晶, プラズマエッチング

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