分光エリプソメトリーによる水素化アモルファス炭素膜の屈折率及び消光係数の波長依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-D1-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2118

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

分光エリプソメトリーによる水素化アモルファス炭素膜の屈折率及び消光係数の波長依存性

*荒川悟, 吉岡久志, 水口和也, 大塩茂夫, 小松啓志, 戸田育民, 村松寛之, 齋藤秀俊

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キーワード: 17p-D1-6, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 消光係数, 水素化アモルファス炭素膜, 屈折率

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