N<sub>2</sub>の放電フローによるC<sub>2</sub>H<sub>2</sub>の分解 : レーザー分光法を用いたラジカル計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-D1-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2157

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

N₂の放電フローによるC₂H₂の分解 : レーザー分光法を用いたラジカル計測

*津留紘樹, 伊藤治彦

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キーワード: 18p-D1-17, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 水素化アモルファス窒化炭素膜, プラズマCVD

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