応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19a-P3-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

原子層堆積法による光触媒TiO2薄膜の作製
*田仲 史弥, 清水 貴裕, 西村 幸姫, 三納 清司, 浜部 薫, 上田 一輝, 加藤 宏太, 小林 久芳, 實野 孝久, 稲田 貢, 齊藤 正
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キーワード: 19a-P3-3, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 原子層堆積法, ALD, 光触媒
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© 2013 公益社団法人 応用物理学会
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