原子状水素照射によるsi(111)表面のエッチングのNC-AFM観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-D2-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2355

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

原子状水素照射によるsi(111)表面のエッチングのNC-AFM観察

*宮城友昭, 笹原亮, 富取正彦, 粉川良平, 大田昌弘, 山田啓文, 小林圭, 大藪範昭

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キーワード: 19p-D2-13, 薄膜・表面, プローブ顕微鏡, 原子状水素

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