境界電荷法および境界磁荷法を用いた磁界重畳型対物レンズの解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-A13-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2383

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

境界電荷法および境界磁荷法を用いた磁界重畳型対物レンズの解析

市來康平, 石神宙愛, 稲垣亮祐, *村田英一, 下山宏

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キーワード: 16a-A13-4, ビーム応用, 電子顕微鏡．評価．測定．分析, LEEM, PEEM, 対物レンズ

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