CH<sub>x</sub>F<sub>y</sub>プラズマエッチング時のSiO<sub>2</sub>/Si界面準位の生成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-C2-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2557

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

CH_xF_yプラズマエッチング時のSiO₂/Si界面準位の生成

*重歳卓志, 深沢正永, 長畑和典, 辰巳哲也

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キーワード: 17a-C2-5, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, エッチング, ダメージ

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