埋め込み構造を有するガラス上の自己整合メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT(2)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-P5-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_3514

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

埋め込み構造を有するガラス上の自己整合メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT(2)

*佐々木駿, 原明人

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キーワード: 19a-P5-4, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, double-gate, poly-Si, TFT

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