応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20a-D7-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

ALD-Al2O3を用いたMIS構造の電気的特性におけるオゾン導入条件の影響
*吉田 雄祐, ジョセフ フリーズマン, 久保 俊晴, 江川 孝志
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キーワード: 20a-D7-3, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 電子デバイス・プロセス技術, ALD, MIS
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