応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-D7-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

AlGaN/GaN上のTiSi2電極によるコンタクトの温度依存性
*譚 錫昊, 岡本 真里, 角嶋 邦之, 片岡 好則, 西山 彰, 杉井 信之, 若林 整, 筒井 一生, 齋藤 渉, 岩井 洋, 名取 研二
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キーワード: 20p-D7-2, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 電子デバイス・プロセス技術, AlGaN/GaN コンタクト 低温
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© 2013 公益社団法人 応用物理学会
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