F<sub>2</sub>+Heガスプラズマを用いたSiCのドライエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-B3-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_4077

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

F₂+Heガスプラズマを用いたSiCのドライエッチング

*田中貴也, 新海聡子, 小田春奈, 本山慎一

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キーワード: 17a-B3-1, 結晶工学, IV族系化合物, エッチング, F2, SiC

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