ZnO TFTのドレイン電流DLTS測定 (2)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-P8-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_4423

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

ZnO TFTのドレイン電流DLTS測定 (2)

*久保田優人, 小柳津祥典, 森雄大, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

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キーワード: 16p-P8-11, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 電流DLTS, 薄膜トランジスタ, 酸化亜鉛

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