The 74th JSAP Autumn Meeting 2013
セッションID: 18p-PM1-11
会議情報
主催: The Japan Society of Applied Physics
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 74
開催地: 同志社大学
開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20
High power and unfocused ion assisted deposition of oxide films on the fixable substrate
キーワード:
18p-PM1-11,
2013 JSAP-MRS Joint Symposia,
Symposium E: Functional Oxide Thin Films and Heterostructures for Innovative Devices
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