気相中でZnO粒子を生成する新規プロセスに用いる亜鉛源の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-B4-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_4440

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

気相中でZnO粒子を生成する新規プロセスに用いる亜鉛源の検討

*水池成弘, 比村治彦, 岡田成文, 三瓶明希夫, 政宗貞男

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キーワード: 16p-B4-7, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 粒子供給, 真空, 酸化亜鉛

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