IGZO TFT信頼性に関するプロセス条件依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-B4-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_4467

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

IGZO TFT信頼性に関するプロセス条件依存性

*坂本純一, 邵力捷, 大竹文人, 瀧旭, 白井雅紀, 湯川富之, 武井応樹, 清田淳也, 石橋暁, 齊藤一也

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キーワード: 17p-B4-14, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, IGZO, 半導体, TFT

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