多重積層量子ドットのSiO2膜スパッタと熱処理による組成拡散の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-PA2-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1016

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

多重積層量子ドットのSiO2膜スパッタと熱処理による組成拡散の検討

*武井勇樹, 松下明日香, 松本敦, 赤羽浩一, 松島裕一, 宇髙勝之

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キーワード: 17p-PA2-11, 光エレクトロニクス, リング共振器, 量子ドット

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