自己平坦化n<sup>+</sup> Ge埋め込み成長技術を用いた超小型butt接合Ge受光器の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-F8-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1098

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

自己平坦化n⁺ Ge埋め込み成長技術を用いた超小型butt接合Ge受光器の開発

*三浦真, 藤方潤一, 野口将高, 荒川泰彦

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キーワード: 19p-F8-7, 光エレクトロニクス, 光制御, 受光素子, ゲルマニウム, エピタキシャル成長

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