エッチピット法によるヘテロエピタキシャルダイヤモンドの欠陥評価Ⅴ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-D6-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1217

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

エッチピット法によるヘテロエピタキシャルダイヤモンドの欠陥評価Ⅴ

*市川公善, 児玉英之, 鈴木一博, 澤邊厚仁

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キーワード: 18p-D6-5, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, Diamond, Etching, Dislocation

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