TiO<sub>2</sub>チャネルTFTの電界効果移動度に対する表面・粒界吸着効果の重要性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-E8-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1328

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

TiO₂チャネルTFTの電界効果移動度に対する表面・粒界吸着効果の重要性

*矢嶋赳彬, 小池豪, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海明

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キーワード: 20a-E8-3, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 酸素吸着

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