NILによる6インチウエハ全面への偏光板形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-F3-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1511

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

NILによる6インチウエハ全面への偏光板形成

*鷲谷隆太, 長島史朗, 杉田正基, 内田明久, 宮内昭浩

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キーワード: 18p-F3-7, ビーム応用, ナノインプリント, ナノインプリント, Nanoimprint

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