ガスクラスターイオンビームによるRu薄膜の平坦化（ＩＩ）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-F4-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1547

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

ガスクラスターイオンビームによるRu薄膜の平坦化（ＩＩ）

*山口明良, 日野浦諒, 豊田紀章, 原謙一, 山田公

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キーワード: 17p-F4-7, ビーム応用, イオンビーム一般, ガスクラスターイオンビーム, Ru平坦化

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