ＭＥＭＳ光干渉型バイオセンサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-E14-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_2588

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

ＭＥＭＳ光干渉型バイオセンサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価

*高橋一浩, 小澤遼, 石田誠, 澤田和明

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キーワード: 17a-E14-9, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 医用工学・バイオチップ, MEMS, biosensor

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