応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18p-PA12-7
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低誘電率SiCN膜の不揮発性メモリデバイスへの応用(Ⅲ)
*伊藤 佳奈内藤 慎二小林 清輝
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© 2014 公益社団法人 応用物理学会
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